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Cs（球面収差係数）補正STEM
Cs（球面収差係数）補正STEMとは、電子レンズの球面収差補正機能を付加し、高分解能化が図られた顕微鏡です。球面収差は、レンズの近軸を通過する電子線が結ぶ焦点と、外側を通過する電子線の焦点がずれることにより発生します。このずれを6極子の球面収差補正器*1を用いて取り除くことにより、0.1nmという非常に細いビームを得ることができ、同時にビーム電流量も飛躍的に増大します。
図1において、収差補正有りと無しの電子線とビーム形状を簡略化して比較しました。このビームを用いて、Siの110晶帯軸入射条件で測定したADF（Annular dark field）-STEM像を図2に示しました。0.136nm間隔で配置しているSiの原子カラムが分離して観察されています。
*1 Haider et al.,Nature 392,23（1998）
| 図1： | Cs補正有りSTEM（左図）とCs補正無しSTEMの光線図とビーム形状の比較 |
| Cs補正STEMではビームが試料上の1点に焦点を結んでいるが、右図では結んでいない |
図2：Siの110晶帯軸入射条件で測定したADF-STEM
